No Phase Shifter Measurement Start Encoder Offset
[mm] 		Old Offset
[mm] 		Gap Monitor
stdev / p-p Switch-ON
1 HXPS-16327 Tue Apr 16 10:41:58 PDT 2019 4487.23100 4487.19300 ±0.1 / 1.1 um N/A
2 HXPS-16318 Tue Apr 16 14:55:26 PDT 2019 445.14750 444.65250 ±0.2 / 1.6 um -1.2 um
3 HXPS-16325 Tue Apr 23 17:10:15 PDT 2019 4316.18150 4315.73950 ±0.2 / 1.3 um -3.7 um
4 HXPS-16314 Thu Apr 25 15:38:54 PDT 2019 4483.93880 4483.90275 ±0.1 / 0.5 um +2.3 um
5 HXPS-16333 Fri Apr 26 14:39:40 PDT 2019 4489.52780 4489.62270 ±0.1 / 0.6 um +2.2 um
6 HXPS-16307 Thu May 2 14:37:41 PDT 2019 4272.65750 4272.74150 ±0.2 / 2.1 um +6.5 um
7 HXPS-16305 Fri May 3 14:53:13 PDT 2019 4483.10650 4482.71950 ±0.4 / 2.4 um -6.3 um
8 HXPS-16309 Mon May 6 15:32:13 PDT 2019 793.63680 793.23675 ±0.1 / 0.9 um +2.3 um
9 HXPS-16319 Mon May 13 15:08:34 PDT 2019 3670.83350 3670.23750 ±0.2 / 1.8 um +1.7 um
10 HXPS-16324 Thu May 16 14:09:25 PDT 2019 1294.05025 1293.60625 ±0.9 / 7.6 um -17.9 um